國內外研磨機行業(yè)現(xiàn)狀淺析
目前國內生產高速研磨機的廠家不少,但由于研磨加工的針對性較強,對不同的工件,研磨加工的方法也有很大的差別。所以人們研究開發(fā)出了許多專用的研磨機。我國在八十年代研究出來第一臺PJM320型平面研磨機。曾獲得國家科學大會獎。現(xiàn)在西安秦川發(fā)展有限公司生產的PJM320B就是以它為原型改進的。在光學加工中研磨又稱精磨,所以研磨機也成為精磨機。目前還有南京儀機股份有限公司生產的PLM-400精密拋光機。以及我國臺灣高鈺精密有限公司生產的各種精磨機。其中平面精磨機有DL-380和CDL-600和VDL-900型號和雙面研磨機有CDL-4B-4L和CDL-6B-6L及CDL-9B-5L等型號。其中COL-380型研磨機研磨精度高,可達到的平面度為0.2um-0.5um,表面粗糙度達Ra0.1um以下,它可加工各種材質。為提高加工效率人們研制出雙面研磨機,如蘭州東勝機械制造有限公司生產的DSL9B-5P型雙面研磨機,它加工出的產品精度為10微米級,平面度及平行度在千分之一毫米。還有深圳宏達公司生產的雙平面研磨機,其平行度及平面度也為千分之一毫米。球面高速研磨機按加工工件表面的曲率半徑不同,分為大球面、中球面和小球面三種:其中Q875型高速研磨機和QJM-40小球面高速精磨機和QJM-100中球高速研磨機應用較為普遍。目前,國外高品質的研磨機床已實現(xiàn)系列化,而且加工精度已達到很高水平。如SPEEDFAM高速平面研磨機,具有粗研磨及精研磨的廣泛研磨能力,能以短時間和低成本獲得較高的平行度、平面度、以及表面粗糙度。即使不熟練的操作人員,亦能達到尺寸公差3um、平面度0.3um、平行度3um,表面粗糙度Ra0.2um以內的高精度加工水平。又如Takao NAKAMURA等人研制的硅片研磨機,可同時加工5片直徑為125mm的硅片,當硅片厚度在500~515um時,經過24~30min的拋光,尺寸可達到480um,平均材料去除率0.51~0.57um/min。隨著科技的進步和社會的發(fā)展,人們對加工精度的要求越來越高。加工技術水平也在不斷提高,由原來的精密、超精密加工,發(fā)展到現(xiàn)在的納米級加工。納米級高效研磨加工技術主要采用固著磨料高速研磨加工方法。固著磨料高速研磨與傳統(tǒng)的散粒磨料研磨不同,其磨料的密度分布是可控的。利用固著磨料研磨的這一特點,根據(jù)工件磨具間的相對運動軌跡密度分布,合理地設計磨具上磨料密度分布,以使磨具在研磨過程中所出現(xiàn)的磨損不影響磨具面型精度,從而顯著提高工件的面型精度,并且避免修整磨具的麻煩。
目前國內外生產的研磨機基本上都是中大型的。對于小型便攜式高速研磨機的研究有限。而目前便攜式的研磨機只有專門維修閥門的維修機具。目前國內外的高速研磨機的發(fā)展方向主要是進一步提高研磨加工質量和加工效率,提高研磨機的自動化程度,以減輕操作者的勞動強度。而對維修設備現(xiàn)場使用的便攜式研磨機還沒有人進行研究和開發(fā)。